WR series 擁有高速拋光效果，且能在高溫下保持拋光液穩定性，適於再生晶圓拋光研磨。
1. 具有粒徑分散度低、穩定性好、濃度高等特點。
2. 根據客戶需求調整配方配比，具有良好的分散穩定性。
3. 研磨後晶圓表面粗度均勻，且晶圓表面缺陷少。
4. 可循環使用，降低操作成本。
